1、防止潔淨室裡產生靜電
我們必須在設計無塵室設備工程和采用材料時就選用不易產生靜電,或產生靜電能迅速泄漏的材料。在以往的設計中我們為了使靜電電荷有迅速逃逸的通路,往往只注重對地板的作用,即采用防靜電地板來消除靜電。並且只把系統電阻值限制在105—108歐姆之間來作為衡量防靜電的標准,目前看來是遠遠不夠的。
現在歐美、日本等國家在設計潔淨室時已經不局限於防靜電地板了,對潔淨室隔斷、牆壁及潔淨的結構系統等都考慮在內。目前在設計時我們也會充分考慮到防靜電的要求,如采用噴塗靜電塗料HEPA、防靜電蠟等來作為輔助措施或補救方法來克服靜電。使潔淨室不產化學濾網生或少產生靜電。
2、利用潔淨室的空氣、溫濕度來控制
我們在設計潔淨室時一般利用其固有的條件來消除靜電。因為空氣濕度在RH50%左右或溫度在23℃左右條件下,其形式的空氣導電會有良好的防靜電環境。設計條件允許時盡量滿足靠攏它。采用離子發生器也可消除靜電和防止帶靜電等。
3、消除人體帶電
進入潔淨室的除味濾網人員必須穿防靜電潔淨服、穿戴防靜電手套,穿防靜電鞋等來消除靜電。運輸周轉中的工具如小車,箱子也應采用防靜電的產品。
靜電放電在很多情況下是我們所活性碳濾網不希望的,它在具有易燃易爆氣體的場所極易導致危險的火災。而且潔淨室內的靜電對產品的傷害是極大的,因此,潔淨室靜電的控制是不可忽視的。
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